量程

X 方向

30mm

Z 方向

±500μm

傳感器分辨率

0.0016μm/±50μm -0.016μm/±500μm

驅動器

直線度

1μm/200mm

分析算法

執行標準

JIS-82、JIS-87、JIS-94、JIS-01、JIS-13、ISO-84、ISO-97、

DIN-90、ASME-95、GB-14

參數

粗糙度輪廓

a75、Rq、Rp、Rv、Rc、Rt、S、R3z、PPI、Ra、

Rsk、Rku、Ry、Sm、RΔa、RΔq、Rz、Pc、Rλa、

Rλq、lr、RSm、Rz94、RPc、RS、Rz.I、Rpm、HSC

波紋度輪廓

WCA、WCC-q、WCC-p、WCC-v、WCC-m、WCC-Sm、WCA、WC-q、WC-p、WC-v、WCM、WC-Sm、WC-t、Wa、Wq、Wsk Wku、Wp、Wv、Wz、Wc、Wt、WSm、WΔq、WPc

原始輪廓

Rsk、Rku、Rmax、Sm、Δa、Δq、Rz、λa、λq、lr、TILT A、

AVH、Hmax、Hmin、AREA、Rz.J、Pa、Pq、Psk、Pku、Pp、Pv、Pc.I、Pt、PSm、PΔq、PPc、Pc

支承率曲線

Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、V0、K、A1、A2

圖形

NCRX、AR、R、Rx、NR、CPM、SR、SAR、AW、W、Wx、Wte、NW、SW、SAW、Rke、Rpke、Rvke、Mr1、Mr2、

V0、K

評定曲線

粗糙度輪廓、波紋度輪廓、原始輪廓、支承率曲線、圖形

特征曲線

支承率曲線(Rmr(c)、Rmr2(c)、Rδc(c)、tp(c)、tp2(c)、Htp(c))、幅頻分析曲線、振幅分布曲線

形狀去除

全域、前半、后半、中心、2點、曲線

濾波器類型

Gaussian、FFT、PC、DP、2RC

濾

止

波

長

λs

0、2.5、8、25μm

λc

0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

λf

0.8、2.5、8、25mm

評定長度

取樣長度 × 取樣個數（取樣長度有標準模式與自定義模式）

測量速度

0.05mm/s、0.10mm/s、0.50mm/s、1.00mm/s、2.00mm/s

回程速度

0.05mm/s、0.10mm/s、0.50mm/s、1.00mm/s、2.00mm/s

傳感器

型號

標準通用型

傳感器方式

差動電感

量程

±500μm

測針

5μmR金剛石90°

測力

0.4mN~0.75mN

操作機

顯示部分

5寸彩色IPS觸摸屏

數據輸出

TF卡/U盤/WIFI打印

對應語言

中文，英文

尺寸

及質量

電源/消耗

AC220V±10%   內置充電電池（AC變壓器充電） 充電時間3小時

耗電量

約30VA

尺寸/質量

執行器 80(W)*392(L)*180(H)

操作器 245(W)*162(L)*68(H)